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PS300系列气体质量流量控制器是一款面向气体成分制造、PVD、CVD、光学玻璃镀膜、LED生产、真空技术、光伏元件制造等应用领域的精密气体流量控制器，提供1-100% F.S. 宽动态范围的流量控制区间。在气体控制方面提... ...
PS500系列面向先进半导体制造工艺中的精密气体流量控制需求而设计，适用于对流量稳定性、响应速度和控制精度要求较高的工艺环境。 ...
高精度基于实际的工艺气体标定，结合内置的气体特性数据，精度高达 ± 1.5% S.P. (30-100% F.S.) ± 0.5% F.S. (2-30% F.S.)快速响应为快速响应优化的专用自适应 PID 算法、让 TE300 可在整个流量范围内实现低于... ...