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PS500 面向先进半导体制造工艺中的精密气体流量控 制需求而设计，适用于对流量稳定性、响应速度和控 制精度要求较高的工艺环境。 设备通过检测层流元件两端的压差信号，实现宽量程 范围内的高灵敏度流量测量。入... ...
PS300系列气体质量流量控制器是一款面向气体成分制造、PVD、CVD、光学玻璃镀膜、LED生产、真空技术、光伏元件制造等应用领域的精密气体流量控制器，提供1-100% F.S. 宽动态范围的流量控制区间。在气体控制方面提供专... ...