浙江海纳精密设备有限公司

PS300系列压差式质量流量控制器

PS300系列气体质量流量控制器是一款面向气体成分制造、PVD、CVD、光学玻璃镀膜、LED生产、真空技术、光伏元件制造等应用领域的精密气体流量控制器，提供1-100% F.S. 宽动态范围的流量控制区间。在气体控制方面提... ...

PS500系列压差式质量流量控制器

PS500系列面向先进半导体制造工艺中的精密气体流量控制需求而设计，适用于对流量稳定性、响应速度和控制精度要求较高的工艺环境。 ...

PF300 系列经济型质量流量计

产品特征高精度：采用层流元件与多变量传感技术，实现高精度、多参数气体测量。多参数测量：同步测量质量流量、体积流量、压力和温度，一机满足多种测量需求。多气体：支持现场切换多种气体及混合气体，无需重新... ...

集成式气体系统IGS

模块化集成设计系统采用面板式模块化拼装结构，所有功能部件均以SEMI 标准表面安装方式集成于同一基板上。模块化设计可有效减少管路连接数量，提升系统集成度，并显著降低整体占用空间。空间占用更小与传统分离式... ...

PC100系列数字式自动压力调节器

PC100系列数字式自动压力调节器是一款面向前驱体供气系统、适用于MOCVD 、刻蚀、光学薄膜沉积、SiC GaN 外延生产、真空腔体稳压、光伏薄膜制备，离子注入、ALD 原子层沉积等多个应用领域的压力控制仪器。... ...

HainarGuard-HMS系列残余气体分析仪

HMS 系列残存气体分析仪专为先进半导体工艺而设计；能够提供快速、可靠的气体分析与监测，以及提升半导体工艺的生产效率和产品良率。能够在半导体生产过程中实现原位监测，同时可直接监测空气泄漏、工艺气体浓度... ...

TE300系列热式质量流量控制器

高精度基于实际的工艺气体标定，结合内置的气体特性数据，精度高达 ± 1.5% S.P. (30-100% F.S.) ± 0.5% F.S. (2-30% F.S.)快速响应为快速响应优化的专用自适应 PID 算法、让 TE300 可在整个流量范围内实现低于... ...